一、核心工艺设备（光刻、刻蚀、沉积）

1、中微公司：刻蚀设备双巨头之一，CCP刻蚀设备国际领先。

2、北方华创：平台型设备龙头，产品线最广，覆盖刻蚀（ICP）、薄膜沉积（PVD）、热处理、清洗等多个关键领域。

3、拓荆科技：薄膜沉积领域专家，CVD设备国内龙头。

4、微导纳米：高端薄膜沉积设备代表，ALD设备技术领先。

5、张江高科：作为投资平台，代表了国内光刻机整机领军企业的上市标的。

6、芯源微：光刻工艺的“黄金搭档”，国内涂胶/显影设备龙头。

二、其他关键设备（清洗、CMP、离子注入、量测）

7、盛美上海：清洗设备龙头，产品具有差异化技术。

8、华海清科：CMP设备国内唯一领军企业，是实现芯片制造全局平坦化的关键。

9、万业企业：离子注入设备国内领先者。

10、中科飞测：检测与量测设备平台型公司，是国内半导体检测领域的领军企业。

11、精测电子：在膜厚、OCD等量测设备领域国内领先。

12、屹唐股份：干法去胶设备全球市占率第二，是刻蚀后清洗等环节的关键设备商。

三、测试与封装设备

13、长川科技：测试设备平台型龙头，营收规模国内第一。

14、华峰测控：半导体测试系统龙头，在模拟、功率测试领域优势突出。

四、关键支撑与材料设备

15、晶盛机电：单晶硅生长设备龙头，提供半导体制造的基础材料硅片。

16、神工股份：刻蚀机用大尺寸单晶硅材料核心供应商。

17、新莱应材：半导体真空与洁净管路系统关键部件供应商。

18、京仪装备：半导体专用温控设备国内龙头。

19、至纯科技：高纯工艺系统及湿法清洗设备供应商。

20、芯基微装：直写光刻设备龙头，应用于先进封装等领域。