光刻机产业链相关ETF的综合介绍，基于公开市场数据和产业逻辑整理：

一、‌半导体设备与材料主题ETF‌

1. ‌科创半导体ETF(588170)‌

• 跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，精选科创板中专注半导体设备（占比59%）与材料（占比25%）的硬科技企业。

• 成分股覆盖光刻胶涂布设备（拓荆科技）、精密零部件（和林微纳）等国产替代核心环节，受益于AI算力需求爆发及国产光刻机技术突破。

• 2025年7月资金连续6日净流入3246万元，规模突破2.61亿元。

2. ‌半导体设备ETF(159516)‌

• 聚焦半导体设备制造，2025年6月单日涨幅超2%，成交活跃（半日1.48亿元）。

• 覆盖光刻机配套的精密光学部件、运动控制系统等核心技术企业（如华卓精科、晶盛机电）。

3. ‌半导体材料ETF(562590)‌

• 跟踪中证半导体材料设备主题指数，成分股包括光刻胶龙头（晶瑞电材、华海诚科）及半导体材料供应商，国产替代空间显著。

二、‌全产业链半导体ETF（含光刻机关联企业）‌

1. ‌国联安中证半导体ETF(512480)‌

• 持仓涵盖北方华创、中微公司等设备供应商，光刻机设备材料类企业占比达26%。

2. ‌华夏国证半导体芯片ETF(159995)‌

• 覆盖芯片设计、制造、封测全链条，前十大持仓含长川科技、盛美上海等光刻机配套服务商。

3. ‌国泰CES半导体芯片ETF(512760)‌

• 成分股包含中微公司、北方华创等直接参与光刻机产业链的企业。

三、‌高端制造与信息技术主题ETF‌

1. ‌工银瑞信中证智能制造ETF(516320)‌

• 布局高端装备制造，涉及光刻机所需的数控系统、精密光学部件技术。

2. ‌南方科创板新一代信息技术ETF(588150)‌

• 聚焦科创板企业，纳入拓荆科技、芯源微等光刻胶涂布设备国产化主力厂商。

四、‌行业趋势与资金动向‌

• ‌需求驱动‌：全球晶圆厂扩产周期下，2023年中国大陆光刻机订单量同比增长37%，某存储芯片企业2024年光刻设备预算占比达52%。

• ‌国产替代加速‌：28nm光刻机进入验证阶段，产业基金二期注资零部件企业12亿元1；美国出口管制强化背景下，国产光刻机产业链有望加速崛起。

• ‌波动提示‌：2025年7月光刻机概念ETF出现资金流出，需关注技术迭代与地缘政策风险。